[9p-E311-1~21] CS.7 6.1 強誘電体薄膜、15.4 Ⅲ-Ⅴ族窒化物結晶のコードシェアセッション

17:30 〜 17:45

[9p-E311-16] GaN上スパッタ成長NbAlN薄膜の構造特性の成長温度依存性

〇黒木 颯太¹、辻 心智²、菊池 立貢¹、池田 和久^1,2、小林 篤^1,2 (1.理科大院先進工、2.理科大先進工)

キーワード：

NbAlN、スパッタリング、エピタキシャル成長