講演情報
[9p-N102-2]レーザー微細加工40年の軌跡 ― 技術革新と未来への挑戦
〇杉岡 幸次1 (1.理研光量子)
キーワード：
レーザー微細加工、40年の軌跡、将来展望
1982年、エキシマレーザーを用いたリソグラフィーの実証とポリマーアブレーションの発見は、レーザー微細加工の新時代を切り拓いた。1987年にはフェムト秒レーザーアブレーションが報告され、超短パルスレーザー加工への道が開かれた。その後約40年、レーザー微細加工技術は大きく進展し、ものづくりを支える重要な基盤技術となった。本講演では、その40年の歩みを振り返るとともに、今後の展望について述べる。