講演情報
[9p-PA1-12]断面SEM EDX解析に基づくミストCVD前駆体の有効付着係数評価
〇白井 肇1,2、山本 孔明4、何 海燕4、栗原 英紀3、小林 史弥2、曽根 宏隆1、大野 俊典4 (1.埼玉大学理工研、2.神奈川大工研、3.埼玉県産業技術総合センター、4.天谷製作所)
キーワード：
ミストCVD、不織布、均一成膜
高空隙率を有する不織布は Li 電池のセパレーターや負極, 触媒担体, フィルタ材料などへ
の応用が期待されている．しかし複雑な三次元構造内部へ均一に薄膜を形成することは容易ではない。ミスト CVD は液滴輸送を利用するため, 高アスペクト比構造や多孔質材料内部への前駆体供給が期待 さ れ る が , 不 織 布 内 部 で の 液 滴 捕 集 ・ 成 膜 挙 動 は 十 分 理 解 さ れ て い な い ． 本 研 究 で はTi(acac)₂(OiPr)₂を原料としたミスト CVD により不織布へアモルファス TiO
ｘ(a-TiOx)を成膜し, 断面 SEMおよび EDX 分析から厚さ方向の Ti 分布を評価した。さらに液滴侵入モデルを用いて実験結果を解析し、有効付着係数を見積もった．
の応用が期待されている．しかし複雑な三次元構造内部へ均一に薄膜を形成することは容易ではない。ミスト CVD は液滴輸送を利用するため, 高アスペクト比構造や多孔質材料内部への前駆体供給が期待 さ れ る が , 不 織 布 内 部 で の 液 滴 捕 集 ・ 成 膜 挙 動 は 十 分 理 解 さ れ て い な い ． 本 研 究 で はTi(acac)₂(OiPr)₂を原料としたミスト CVD により不織布へアモルファス TiO
ｘ(a-TiOx)を成膜し, 断面 SEMおよび EDX 分析から厚さ方向の Ti 分布を評価した。さらに液滴侵入モデルを用いて実験結果を解析し、有効付着係数を見積もった．