講演情報
[9p-PA1-15]ＳｎおよびＡｌを添加したＺｎＯ薄膜の結晶構造と電気特性
〇安達 裕1 (1.NIMS)
キーワード：
ホモロガス化合物、極性反転界面、超格子
ZnOのバリスタ応用研究の過程で、Sn添加によりZnO粒子中に極性が反転した界面が形成されることが報告されている。その界面は、Zn原子で終端されたZn面同士が向かい合う構造を持つ。一方、Alを高濃度ドープすると、O原子で終端されたO面同士が向かい合う界面が生じることが知られている。本研究では、SnおよびAlを添加したZnOをPLD法で蒸着することで、極性が交互に反転した超格子薄膜の作製を試みた。