2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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[9p-PA1-24]
FIB加工により生じた
b
-Ga
2
O
3
基板損傷領域の構造解析
〇林 将平
1
、橋本 愛
1
、川崎 直彦
1
(1.東レリサーチセンター)
キーワード：
Ga2O3、FIB、TEM
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