[9p-PA1-1~52] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-PA1-25] 電解水を用いたβ-Ga₂O₃の溶解挙動の評価

〇大塚 葵衣¹、塚田 太郎¹、太子 敏則¹ (1.信大工)

キーワード：

酸化ガリウム、エッチング、電解水