講演情報
[9p-PA1-30]H2, O2および水蒸気導入スパッタによるIn-B-O透明導電膜の膜密度と柔軟性の相関評価
〇石上 柊佑1、矢崎 結也1、松藤 由磨1、相川 慎也1 (1.工学院大工)
キーワード：
透明導電膜酸化物、酸化インジウム、半導体
フレキシブルデバイスには柔軟・透明・低抵抗な導電酸化物薄膜が不可欠である．ITOは結晶化しやすく屈曲時にクラックを伴う．当研究室では，In2O3に小イオン半径のBをドープすることで，ITOに匹敵する透明性，導電性を有しつつも柔軟性の向上が確認された．本研究では，さらなる低抵抗化に向けHとO2を同時導入し，キャリア密度の増加と酸素空孔の低減による移動度向上を見込み，導入ガス種による諸特性，膜密度や柔軟性を評価した．