2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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[9p-PA1-32]
非加熱処理によるアモルファスIGZO TFTのPBS特性改善
〇中村 光我
1
、石原 洸
1
、辛 佳和
1
、相川 慎也
1
(1.工学院大学)
キーワード：
a-IGZO TFT、非加熱処理
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