講演情報

[9p-PA1-33]SiO₂/Y₂O₃積層パッシベーションによる室温形成a-IGZO TFTの閾値電圧制御

〇石原洸¹、中村光我¹、矢崎結也¹、相川慎也¹ (1.工学院大学)

a-IGZO 薄膜トランジスタ、積層パッシベーション、閾値電圧制御