講演情報
[9p-PA1-35]水蒸気導入スパッタリング法により優先成長させた極性(100)面TFT型CO2ガスセンサーの作製と評価
〇(M1)酒井 智弘1、海老澤 雄一朗1、Shin Jeongmin2、車 振赫2、山口 智広1、相川 慎也1 (1.工学院大工、2.全南大工)
キーワード：
薄膜トランジスタ、CO2センサー、多結晶
本研究では，成膜時の水蒸気分圧を制御してIn2O3薄膜TFT型CO2センサーを作製し，極性(100)面の形成，TFT動作およびCO2検知特性への影響を検討した．GI-XRDより水蒸気分圧1×10−3 Pa以上で極性(100)面の優先成長が確認され，特に水蒸気分圧1×10−3 Paでは良好なTransfer特性も得られた．これより，水蒸気分圧1×10−3 Paが低温CO2検知に適した成膜条件であることを示した．