講演情報
[9p-PA1-43]高感度CO2検知に向けたIn2O3 TFT型ガスセンサーの極性表面制御
〇(M2)海老澤 雄一朗1、石川 治樹1、酒井 智弘1、Shin Jeongmin2、車 振赫2、山口 智広1、相川 慎也1 (1.工学院大、2.全南大)
キーワード：
CO2ガスセンサー、結晶配向、薄膜トランジスタ
In2O3 TFT型CO2センサーの室温動作・高感度化を目指し，極性In2O3(100)面に着目した．RFスパッタの背圧を制御して結晶配向を変化させ，CO2感度との相関を調査．XRD・XPS・TFT特性評価より，極性表面が酸素由来イオン種の吸着を促進し感度を向上させると判明した．(100)面成長条件で感度は6倍以上向上した．希釈環境下の検知特性も報告する．