講演情報
[9p-PA1-46]湿式エッチング法を用いたβ型Ga2O3 (011)面結晶のエッチピット評価
〇佐藤 功二1、勝部 大樹1、姚 永昭1,2、清水 真紀1、山口 博隆1、石川 由加里1 (1.JFCC、2.三重大)
キーワード：
パワーデバイス、酸化ガリウム、エッチピット
β-Ga₂O₃(011)面単結晶に対し、H₂SO₄、KOH+NaOH、H₃PO₄を用いた湿式エッチングを行い、欠陥可視化手法としての有効性を検討した。H₂SO₄では顕著な表面変化は見られなかった。一方、KOH+NaOHではヒロック、H₃PO₄ではピット形成が確認された。XRTおよびTEM観察との比較により、これらの構造と転位との相関を解析し、(011)面での選択的エッチングの可能性を評価した。