[9p-PA1-1~52] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-PA1-49] 酸化ガリウム多結晶粉末を用いたミストCVD法によるα-Ga₂O₃成膜および不純物評価

〇(M1)照喜名 朝人¹、飯田 隆真¹、西尾 宗真¹、中鉢 陽向¹、本田 徹¹、尾沼 猛儀¹、山口 智広¹ (1.工学院大)

キーワード：

酸化ガリウム、ミストCVD法、不純物評価