[9p-PA1-1~52] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-PA1-5] ナノ粒子分散半導体薄膜のミストCVDにおける原料溶液のナノ粒子分散制御

〇谷川 莉央¹、氏家 丈斗¹、斎藤 日菜¹、光野 徹也¹、小南 裕子¹、原 和彦^1,2,3 (1.静岡大学総研、2.静岡大光医工、3.静岡大電研)

キーワード：

ミストCVD、酸化亜鉛