講演情報

[9p-PA1-51]吸光源を用いたFZ法によるβ-Ga2O3単結晶の育成

〇平戸 理久1、八巻 和宏1、入江 晃亘1 (1.宇都宮大工)

キーワード:

パワー半導体、浮遊帯域溶融法、単結晶育成