[9p-PA1-1~52] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-PA1-9] ミストCVD法による(Zn,Mg)OおよびGa₂O₃成膜における酢酸添加の影響

〇氏家 丈斗¹、斉藤 日菜¹、谷川 莉央¹、光野 徹也¹、小南 裕子¹、原 和彦^1,2,3 (1.静岡大総研、2.静岡大光医工、3.静岡大電研)

キーワード：

ミストCVD、酸化ガリウム、酸化亜鉛