2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会

先端ロジック半導体の微細化が進む中、それを支える低温プラズマプロセスの最新動向を俯瞰する。ナノスケールデバイス向け精密加工技術、PFAS対応の分析・計測技術、AIを活用したプロセスインフォマティクスを通して、次世代半導体製造の技術課題と将来展望を議論する。