2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会

原子層堆積（ALD）や原子層エッチング（ALE）をはじめとする原子層プロセス（ALP）について幅広く議論するため、今年度新たに発足した研究会です。今回，初めての研究会セッションを開催します。午前の部では，酸化物薄膜のALDを中心に、プラズマALD、高アスペクト比・三次元構造における原子層プロセスなどを取り上げ、分科会内招待講演2件を含む計9件の講演を予定しています。

原子層堆積（ALD）や原子層エッチング（ALE）をはじめとする原子層プロセス（ALP）について幅広く議論するため、今年度新たに発足した研究会です。今回，初めての研究会セッションを開催します。午後の部では，ALDのin-situ計測技術や，領域選択ALD（AS-ALD）に関する自己組織化単分子膜や阻害剤を利用した選択成膜、ボトムアップフィルなど、計7件の一般講演を予定しています。