2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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薄膜形成加工装置

[4-1] アルバックテクノ（株）
#「可能性の場」を広げる担い手に

アルバックテクノ（株）

■研究開発用スパッタリング装置 ■スタンドコーチ

住所253-8555
神奈川県茅ヶ崎市萩園2609-5
TEL0467-87-1041
Webサイト・SNS https://www.ulvac-techno.co.jp/
[2-3] （株）エイチ・ティー・エル
#ハイテクノロジーで未来の一歩をサポートする

（株）エイチ・ティー・エル

■Microresist社製　レジスト各種 ■Arradiance社製　ALD装置 ■Estion社製　フォトマスク静電気測定装置 ■Microtech社製　コンパクトレーザー描画装置

住所190-0012
東京都立川市曙町2-16-6　テクノビル3階
TEL042-523-2871
Webサイト・SNS https://www.htlco.co.jp/
[1-5] ALDジャパン（株）
#Control Atoms!

ALDジャパン（株）

■Anric Technologies社製卓上型原子層堆積(ALD)装置（熱式＆プラズマ式、粉体成膜用オプションあり）

住所183-0056
東京都府中市寿町1-3-10-401
TEL042-360-3152
Webサイト・SNS https://aldjapan.com/
[1-9] エコーテック（株）/ 本多電子（株）
#超音波技術の応用総合機器メーカーです

エコーテック（株）/ 本多電子（株）

■超音波霧化ユニット ■超音波カッター ■その他超音波応用機器

住所441-3131
愛知県豊橋市大岩町小山塚20
TEL0532-65-5158
FAX0532-65-5159
Webサイト・SNS https://echotech.co.jp/
[1-4] （株）SDI
#より安全・安心なディップコーターに

（株）SDI

TBD

住所600-8815
京都府京都市下京区中堂寺粟田町93　京都リサーチパーク6号館 417号
TEL075-323-0236
FAX075-323-0237
Webサイト・SNS https://www.sdicompany.com/
[2-10] エヌピーエーシステム（株）
#粉からカタチへのお手伝い

エヌピーエーシステム（株）

■卓上プレス機 ■卓上CIP機

住所335-0001
埼玉県蕨市北町5-11-20
TEL048-446-9614
FAX048-446-9620
Webサイト・SNS https://www.npasystem.co.jp/
[1-2] （株）エピクエスト

（株）エピクエスト

■MBE装置 ■MOCVD装置 ■小型電気管状炉 ■アニール装置 ■VCSEL用酸化装置 ■各種Kセル ■KOHエッチング装置

住所601-8142
京都府京都市南区上鳥羽中河原町78
TEL075-693-3356
FAX075-693-3356
Webサイト・SNS https://www.epiquest.co.jp
[2-14] （株）エリオニクス
#微細加工や硬さ試験、弊社にご相談下さい！

（株）エリオニクス

■電子ビーム描画装置【ELSシリーズ】 ■ECRイオンビーム装置【EISシリーズ】 ■ナノインデンテーションテスター【ENTシリーズ】

住所193-0063
東京都八王子市元横山町3-7-6
TEL042-626-0611
Webサイト・SNS https://www.elionix.co.jp/
[2-1] ケニックス（株）
#プラズマクラッキング技術って何ぞや？

ケニックス（株）

■【実機展示】圧力勾配式スパッタ装置 ■プラズマクラッキングセル ■PGSスパッタカソード、その他

住所670-0935
兵庫県姫路市北条口2-15-501
TEL079-283-3150
FAX079-280-3002
Webサイト・SNS http://www.kenix.jp/
[1-7] サムコ（株）
#プラズマ成膜も加工も、原子層制御へ

サムコ（株）

■当社は、原子層プロセス技術であるAtomic Layer Deposition（ALD）およびAtomic Layer Etching（ALE）を中心とした装置・プロセスソリューションを展示します。 ALDでは、自己律速反応に基づく成膜機構により、原子層レベルでの膜厚制御や高アスペクト比構造に対する優れた被覆性を実現しています。研究開発から生産まで対応可能です。 ALEでは、表面改質と除去を分離したサイクル制御により、原子層単位での材料加工を可能とし、高い寸法制御性、低プラズマダメージ、高選択比エッチングを実現しています。先端半導体、パワーデバイス、MEMSなどへの応用を期待しています。皆様のご来場お待ちしております。

住所612-8443
京都府京都市伏見区竹田藁屋町36
TEL075-621-7841
Webサイト・SNS https://www.samco.co.jp/
[2-5] 産総研ナノプロセシング施設
#共用施設で微細加工・分析評価！

産総研ナノプロセシング施設

■産総研の共用施設ナノプロセシング施設他を紹介するポスター、パンフレット、試作サンプルを展示します。

住所305-8568
茨城県つくば市梅園1-1-1　つくば中央事業所2群
Webサイト・SNS https://www.tia-kyoyo.jp/page/dir000004.html
[2-13] サンユー電子（株）
#コア技術で研究開発の未来を切り拓く

サンユー電子（株）

■デスクトップRFスパッタ装置 SVC-700RFIII ■マルチターゲットコンパクトコーター SVC-700TMSG/ Adexcel ■イオンミリング装置 SVM-741、他

住所169-0073
東京都新宿区百人町1-22-6
TEL03-3363-3551
FAX03-3364-2892
Webサイト・SNS https://www.sanyu-electron.co.jp/
[2-6] ジオマテック（株）
#薄膜で新たなアイデアの閃きを

ジオマテック（株）

■シリコンやガラスなどのウエハ基板を対象とした成膜・フォトリソグラフィ・エッチングの受託加工サービスを提供

住所146-0093
東京都大田区矢口3-13-7
TEL03-3759-9325
Webサイト・SNS https://www.geomatec.co.jp/
[2-4] （株）信光社
#酸化物単結晶の老舗

（株）信光社

■薄膜形成用単結晶基板、他

住所247-0007
神奈川県横浜市栄区小菅ケ谷2-4-1
TEL045-892-4739
FAX045-892-2986
Webサイト・SNS https://www.shinkosha.com/
[2-11] （株）菅製作所
#新しい価値を協働で創造します

（株）菅製作所

■小型で使いやすいALD装置「SAL1000デスクトップALD装置」

住所049-0101
北海道北斗市追分3-2-2
TEL050-3734-0730
FAX0138-49-8661
Webサイト・SNS https://agus.co.jp/
[7-1] （株）スプリード

（株）スプリード

■チャンバー ■真空バルブ ■真空コンポーネント

住所206-0801
東京都稲城市大丸422-1
TEL042-379-4655
FAX042-379-4656
Webサイト・SNS https://www.splead.jp/
[7-8] TNSシステムズ（同）

TNSシステムズ（同）

■小型アタッチ式ラマンセンサー ■顕微ラマンシステム ■YAGレーザー薄膜加工システム ■電気計測関連装置および部品 ■数A～10,000A 大電流コネクタ ■各種特注装置

住所271-0077
千葉県松戸市根本14-2-707
TEL047-703-1500
Webサイト・SNS http://tns-systems.jp/
[7-8] TPTジャパン（株）

TPTジャパン（株）

■独TPT社製 卓上型ワイヤボンダ機（カタログ出展） ■韓PLASOL社製 卓上型プラズマ洗浄機PS-150（装置出展）

住所224-0003
神奈川県横浜市都筑区中川中央2-5-13-402
TEL045-590-3838
Webサイト・SNS http://www.tpt-japan.com/
[3-16] テガサイエンス（株）
#コンパクトでフレキシブルな真空装置です！

テガサイエンス（株）

■目的真空薄膜成膜システム「HEXシリーズ」 ■ナノ粒子生成ソース「NanoStreamシリーズ」 ■RFアトムソース「TASシリーズ」

住所277-0832
千葉県柏市北柏3-5-4
TEL047-168-5311
Webサイト・SNS https://www.tegascience.co.jp/
[1-6] テクノプリント（株）
#技術の萬屋（ぎじゅつのよろずや）

テクノプリント（株）

■薄膜成膜基板 ■パターニング加工基板 ■めっき加工基板

住所356-0054
埼玉県ふじみ野市大井武蔵野1396-3
TEL049-263-3487
FAX049-262-4882
Webサイト・SNS https://technoprint.co.jp/
[2-8] （株）日本放電技術
#卓上放電加工機

（株）日本放電技術

■卓上放電加工機

住所578-0967
大阪府東大阪市新鴻池町12-2
TEL072-965-8781
FAX072-965-8674
Webサイト・SNS https://www.nhg-jem.co.jp/
[1-1] ハイソル（株）

ハイソル（株）

■フリップチップボンダー ■パーティクル検査装置 Lab Particle Scan ■インクジェット実験装置 ■高性能ウェハ・マスク破断装置

住所110-0005
東京都台東区上野1-17-6
TEL03-3836-2800
FAX03-3836-2266
Webサイト・SNS https://www.hisol.jp/
[1-3] （株）ハイテック・システムズ

（株）ハイテック・システムズ

■Annealsys社製 高速熱処理(RTP)装置 ■NEOCERA社製 パルスレーザー蒸着(PLD)装置 ■Plasmionique社製 熱蒸着・成膜装置 ■Veeco社製 原子層堆積(ALD)装置

住所220-0011
神奈川県横浜市西区高島1-1-2　三井横浜ビルディング19階
TEL045-306-9780
Webサイト・SNS https://www.hightec-sys.com/
[7-8] （株）プリウェイズ
#装置の製作からサンプルの試作まで

（株）プリウェイズ

■高精細印刷装置 ■卓上コーター

住所305-0044
茨城県つくば市並木1-1　物質・材料研究機構
TEL029-860-4918
Webサイト・SNS http://priways.co.jp/
[1-8] Beneq（株）
#研究から量産まで フィンランド発ALD

Beneq（株）

■Beneq TFS 200/500は、学術研究や企業のR&D向けに世界中で広く導入されているALD装置です。高速かつ高精度な純粋なALD成膜を実現し、高アスペクト比構造や多様な基板へのコーティングが可能です。デュアルチャンバー構造のホットウォール方式による均一な加熱と、クロスフローによる均一なガス供給が特徴です。PEALDオプションにも対応し、幅広いアップグレードで、最も厳しい研究ニーズにも応えます。

住所222-0033
神奈川県横浜市西区みなとみらい4-4-2　横浜ブルーアベニュー12階
TEL045-274-5273
Webサイト・SNS https://beneq.com/
[2-9] （株）マイクロジェット
#研究開発・実験用  インクジェット装置

（株）マイクロジェット

■研究開発用インクジェット装置

住所399-0732
長野県塩尻市大門五番町79-2
TEL0263-51-1734
Webサイト・SNS https://www.microjet.co.jp/