講演情報

[15a-S4_201-5]光駆動薄膜アクチュエータ:強誘電体自立膜による高速光-機械変換

〇田口 敦清1、片山 司1 (1.北大電子研)

キーワード:

強誘電体薄膜、ピエゾ効果

光による電荷状態の変調と逆圧電効果との相互作用により、光誘起の非熱的変形を示す強誘電体材料薄膜アクチュエータを報告する。