2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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10:00 〜 10:15
[15a-S4_201-5]
光駆動薄膜アクチュエータ:強誘電体自立膜による高速光-機械変換
〇田口 敦清
1
、片山 司
1
(1.北大電子研)
キーワード:
強誘電体薄膜、ピエゾ効果
光による電荷状態の変調と逆圧電効果との相互作用により、光誘起の非熱的変形を示す強誘電体材料薄膜アクチュエータを報告する。
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