[15p-M_101-1~11] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

14:15 〜 14:30

[15p-M_101-2] レーザー配向CNT膜の配向度・加工深度評価

〇鈴木 大地¹、中島 秀朗²、寺崎 正¹ (1.産総研STRI、2.産総研NMRI)

キーワード：

カーボンナノチューブ

カーボンナノチューブ（CNT）の電子物性は配向・カイラリティに依存するため、デバイス応用実現に向けてはこれらナノ構造を適切に制御する技術が求められる。この背景をうけ我々は光を照射した箇所のみ局所的にナノ構造を制御する光ポストプロセスを発案。サブマイクロスケールの配向・カイラリティ制御を実現したところである。今回、我々は作製したレーザー配向CNT膜の配向度・加工深度を評価したのでこれを報告する。