講演情報
[15p-PA3-14]全フッ素化プラスチック光ファイバへのLPG実装に向けた 2 段階RIEプロセスの検討
〇石田 啓人1、河内 元希2、渋田 幸陽2、李 ひよん3、水野 洋輔4、山根 大輔1,2 (1.立命館大 大学院、2.立命館大、3.芝浦工大、4.横浜国大)
キーワード：
全フッ素化プラスチック光ファイバ、LPGセンサ、歪みセンサ
PF-POFへのLPG（Long Period Gratings）実装効率化のため、2段階RIEプロセスを提案した。厚い補強層を持つPF-POFは従来法では加工に約16時間を要したが、マスクなしの予備エッチングでファイバ直径を小さくした後に周期構造を形成する本手法により、計8時間でコア近傍への溝形成に成功した。これにより製造時間の短縮が実証され、今後はセンサ特性を評価する。