[15p-PA3-1~25] 3.7 光計測技術・機器

[15p-PA3-15] ウェットエッチングPF-POFにおける反射スペクトル変化を用いた接触位置検出

〇和田 有理¹、渋田 幸陽²、河内 元希²、石田 啓人²、熊谷 太貴³、菊地 啓太^1,3、白井 振武³、山根 大輔²、水野 洋輔³、李 ひよん¹ (1.芝浦工大、2.立命館大、3.横浜国大)

キーワード：

光ファイバセンサ