講演情報
[15p-PB2-63]バーコート法による磁気光学薄膜形成における成膜基板の影響
〇(B)堀場 太智1、原 和希1、高野 巧光1、橋本 良介1 (1.鈴鹿工業高等専門学校)
キーワード：
磁界センサ、磁気光学イメージング、磁気ガーネット薄膜
磁性ガーネット薄膜は磁気光学イメージングのための磁界センサとして応用されている。本研究では、バーコート法を用いたポストアニールが不要なフレキシブル磁気光学センサの形成方法を開発している。厚膜化によりセンサの検出感度を向上させることができるが、先行研究では膜を均一に成膜できないという課題があった。そこで基板の親水性や表面の状態を評価して、基板が成膜に与える影響について調査した結果を報告する。