[16a-PA2-1~6] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-PA2-4] Mg₂Si結晶の電気特性に融液組成が及ぼす影響〜赤外吸収による評価〜

〇大河原 穣¹、島野 航輔¹、坂根 駿也¹、鵜殿 治彦¹ (1.茨城大工)

キーワード：

半導体、結晶成長、赤外吸収

Mg₂Si結晶の伝導型の変化及びキャリア濃度の評価を目的に、Mg/Si原料比を変化させてVB法で結晶を成長し、赤外吸収スペクトルで評価した。Si過剰条件では成長末端部がp型に変化し、0.4eV吸収ピーク消失と一致した。融液組成の変化が伝導型に影響することを示唆する。