[16a-PA7-1~22] 12.1 作製・構造制御

[16a-PA7-1] 円柱状メサ表面上でのペンタセン核密度解析による表面拡散評価

〇(M1)高井 康平¹、松原 亮介¹、久保野 敦史¹ (1.静岡大院総合)

キーワード：

円柱状メサ構造、ペンタセン、表面拡散

真空蒸着法において、基板上の分子の表面拡散は核形成および核成長に重要な役割を果たす。我々は円柱状メサ構造を作製し、メサ表面上でのペンタセンの核形成がメサ半径に依存することを利用して分子の拡散距離を評価してきた。本研究では円柱状メサ構造表面に形成されたペンタセンの核密度を解析し、メサ表面上を拡散する吸着分子の分子密度分布を評価することによって、薄膜形成初期過程における拡散係数の定量的な解析を試みた。