講演情報

[16a-W9_325-2]SiGe超薄膜の導入による平面型Si熱電発電素子の発電性能向上

〇小田島 綾華1,2、柳澤 亮人3、辻井 直人4、森 孝雄4、澤野 憲太郎2、野村 政宏1 (1.東大生研、2.東京都市大、3.東京理科大、4.物質・材料研究機構)

キーワード:

熱電発電素子、シリコンゲルマニウム、結晶成長