2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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10:15 〜 10:30
奨励賞エントリー
[16a-W9_325-2]
SiGe超薄膜の導入による平面型Si熱電発電素子の発電性能向上
〇小田島 綾華
1,2
、柳澤 亮人
3
、辻井 直人
4
、森 孝雄
4
、澤野 憲太郎
2
、野村 政宏
1
(1.東大生研、2.東京都市大、3.東京理科大、4.物質・材料研究機構)
キーワード:
熱電発電素子、シリコンゲルマニウム、結晶成長
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