[16p-M_101-1~18] 13.9 化合物太陽電池

17:00 〜 17:15奨励賞エントリー

[16p-M_101-13] 反応性スパッタリング法で成膜した多層MoS₂膜と光電変換

〇金 明玉¹、アデ マーティン²、岡田 至崇¹ (1.東大先端研、2.エコール・ポリテクニーク)

キーワード：

遷移金属カルコゲナイド層状物質、反応性スパッタリング、太陽電池

遷移金属カルコゲナイド（TMDC）は太陽電池の光吸収層として要望視されているが、ウエハサイズでの高品質な薄膜形成が困難である。本研究ではTMDC太陽電池の実用化に向けて反応性スパッタリング法でTMDC薄膜形成の大面積化及び太陽電池動作実証を試みる。Au/MoS₂/Ag Schottky接合太陽電池でセル面積0.164 cm²の太陽電池動作が実証できた。MoS₂薄膜は数cm²角まで作製でき、さらなる大面積化も可能である。今後は変換効率の向上に向けて層構造の最適化に取り組む。