講演情報

[16p-W8E_307-1][大分類15「結晶工学」分科内招待講演] UMS技術を用いたLiTaO3,LiNbO3単結晶の量産プロセスの最適化

〇大橋 雄二1 (1.秋田県立大)

キーワード:

コングルエント組成、漏洩弾性表面波速度

本講演では、UMS技術による計測を通して見出された、LT、LNの量産プロセス上の課題とその評価法および解決法について紹介する。