2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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14:00 〜 14:15
[16p-W9_323-5]
Ag-Cu置換による新規シリサイド半導体Ba
2
Ag
1-
x
Cu
x
Si
3
薄膜の合成と特性評価
〇篠原 大河
1
、梶原 君円
1
、幸田 陽一朗
2
、召田 雅実
2
、都甲 薫
1
、末益 崇
1
(1.筑波大学、2.東ソー株式会社)
キーワード:
熱電変換、環境調和型材料、シリサイド半導体
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