[16p-W9_327-1~16] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

16:00 〜 16:15

[16p-W9_327-10] Cs_0.33WO₃薄膜の光学・電気伝導特性評価

大森 哲郎¹、大重 龍¹、山田 諭²、大上 秀晴²、足立 健治²、〇青木 伸之¹ (1.千葉大工、2.住友金属鉱山)

キーワード：

セシウムドープセシウムタングステンブロンズ、CWO、電気伝導特性

我々はCsを含有したタングステンブロンズ（Cs_0.33WO₃）の薄膜について光学特性と電気伝導特性の評価を行っている。主に，結晶粒界の有無による伝導特性の違いについて，これまでの成果をまとめて報告する。