2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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14:35 〜 14:45
[16p-WL1_401-3]
光学検査技術とAIの協働が描く半導体後工程の未来
〇片岡 岳
1
(1.キオクシア株式会社)
キーワード:
半導体、AI、検査
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