講演情報

[16p-WL1_401-4]NGR AI向け先端半導体検査計測への挑戦

〇本間 飛翔1、中澤 伸一1、丸山 浩太郎1 (1.TASMIT, Inc.)

キーワード:

走査電子顕微鏡、Die to Database、半導体検査計測