2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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14:45 〜 14:55
[16p-WL1_401-4]
NGR AI向け先端半導体検査計測への挑戦
〇本間 飛翔
1
、中澤 伸一
1
、丸山 浩太郎
1
(1.TASMIT, Inc.)
キーワード:
走査電子顕微鏡、Die to Database、半導体検査計測
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