[17a-M_123-1~12] 12.4 有機EL・トランジスタ・フレキシブルデバイス

11:30 〜 11:45

[17a-M_123-10] 光パターン伸縮性導電性高分子を電極に用いたカーボンナノチューブトランジスタ

〇(M2)曹 晨亭^1,2、朱 逸成^1,2、龔 慧敏^1,2、Jung Haksoon⁴、Kwon Jimin⁴、芦沢 実³、松久 直司^1,2 (1.東大先端研、2.東大生研、3.科学大、4.蔚山科学技術院)

キーワード：

カーボンナノチューブ、伸縮性

本研究では、高解像度伸縮性薄膜トランジスタにおける製造工程の簡略化という課題に着目し、工程数を大幅に削減できる手法を開発した。光パターニング可能な導電性高分子の採用により従来のリソグラフィプロセスに依存しない工程の簡略化や、半導体カーボンナノチューブの特性を活用した素子分離手法を確立した。作製した素子は良好な動作を示し、低コストかつスケーラブルな製造プロセスとしての有用性を実証した。