講演情報
[17a-M_124-11]無機系ハライドペロブスカイト薄膜のスパッタ成膜における再現性の検討
〇竹松 虎之介1、來福 至1、上岡 義弘2、召田 雅実2、石河 泰明1 (1.青山学院大理工、2.東ソー)
キーワード：
スパッタリング、CsPbI3、無機系ハライドペロブスカイト
ペロブスカイト太陽電池は次世代太陽電池として注目されている。近年は実用化を指向した研究が活発化している一方で、高性能デバイスの多くは溶液法により作製されており、大面積化や膜厚均一性の観点から課題が残る。これらの課題の解決策として、大面積基板に対する均一成膜に適したスパッタ法による成膜が挙げられる。本研究ではスパッタ成膜におけるペロブスカイト相形成の再現性に及ぼす要素について検討を行った。