[17a-PA1-1~39] 9 応用物性（ポスター）

[17a-PA1-10] 固体炭素から合成したカーボンナノウオールと半導体との接合特性

〇深田 幸正¹、萱原 空輝²、西岡 海音²、崔 修赫²、横部 澄人²、池田 直² (1.原子力機構、2.岡山大)

キーワード：

カーボン材料、電気伝導特性、薄膜

我々は活性炭を用いて、カーボンナノウオール(CNW)をシリコン基板上に成長させた素子の作製に成功した。この素子はCNWとp型シリコンの接合界面に由来する
非線形な電気伝導特性示す。また、CNW合成時に窒素ガスを加えることで、この非線形伝導特性が変化する。これは、CNWに窒素がドープされて接合界面で生じる障壁エネルギーが大きくなることを示唆する結果である。