講演情報
[17a-PA2-17]MOD法によるVO2薄膜成長における局在表面プラズモン共鳴挙動
〇(B)高見 康斗1、桑山 智大1、廣芝 伸哉1、小池 一歩1、和田 英男1、河原 正美2 (1.大阪工大ナノ材研センタ、2.高純度化学研)
キーワード：
二酸化バナジウム、相転移、局在表面プラズモン共鳴
MOD法を用いて極薄ガラス基板上にVO2薄膜を成膜し，局在表面プラズモン共鳴（LSPR）挙動を評価した。AFM観察により，約100 nmのナノポーラス粒子からなる表面構造を確認した。透過スペクトル測定の結果，相転移前は表面構造の影響により可視～近赤外域で高い透過率を示した。一方，相転移後には1100～1400 nm付近でLSPRに起因する強い吸収が現れ，赤外線領域での調光性能が向上することが明らかとなった。