講演情報
[17a-PA2-7]燃料電池用SUSセパレータ上に成膜したSnO2膜の接触抵抗評価
〇小川 大地1、高橋 勲2,5、田中 考3、松尾 浩一4、金子 健太郎2,5 (1.立命館大理工、2.立命館大総研、3.アイテック㈱、4.岩崎電気㈱、5.立命館大半導体応用研究センター)
キーワード：
燃料電池、セパレータ、酸化スズ
当グループは燃料電池の低コスト化を目的としてSUS 製セパレータへの SnO₂成膜を研究している。本研究では、SnO₂ 成膜前の基板前処理（酸化膜除去）の有無および接触抵抗の測定方法の違い(NEDOプロトコルとDOE方式)が評価結果に及ぼす影響を評価した。その結果、SUS 基板では酸化膜除去により接触抵抗が一桁以上低下し、測定方法によって接触抵抗値が大きく異なることが明らかとなった。