講演情報
[17a-PA3-3]STMとTOF-ESDによるβ-Ga2O3(01)表面の熱分解と再酸化の観測
〇岡田 有史1、岡部 隼弥1 (1.京工繊大工芸)
キーワード：
超高真空、ワイドギャップ半導体、表面観察
本研究では，超高真空（UHV）においてβ-Ga2O3(-201)を加熱し，酸素曝露を行うことでモルフォロジーの変化と化学変化を観察した．測定にはSTMとTOF-ESDを用いた．STM観察では加熱後のβ-Ga2O3(-201)にはテラス上にボイドが見られ，酸素曝露後には直径10 nm程度の粒子が見られた．TOF-ESD測定から，これらはβ-Ga2O3(-201)の分解と再酸化によるものと考えられた．