講演情報
[17a-PA3-7]走査型プローブ顕微鏡による金属酸化物観察に向けた清浄表面自動作製システムの開発
〇(B)中村 凌1、候 林楓1、山下 隼人1、阿部 真之1 (1.阪大基礎工)
キーワード：
清浄表面作製、自動化、アニール-スパッタ工程
走査型プローブ顕微鏡による原子分解能観察には平坦な清浄表面が必須であり，従来はアニールとAr＋スパッタを組み合わせて作製する．アニール工程中の温度は開ループ運用になりやすく，Ar＋スパッタ工程では真空度の監視と条件調整を要する．さらに工程切替が手動であるため，拘束時間と試料間ばらつきが課題である．そこでフェーズ管理により両工程を自動連続実行する清浄表面作製システムを構築し，制御性能を評価した．