講演情報
[17a-S4_201-10]走査型トンネル顕微鏡リソグラフィによる原子レベルパターン作製の自動化システム
佃 賢尚1、〇小野田 穣2、DIAO Zhuo1、山下 隼人1、阿部 真之1 (1.阪大院基礎工、2.福教大)
キーワード：
走査型トンネル顕微鏡、STMリソグラフィ、AI自動化
我々は走査型トンネル顕微鏡（STM）を用いたナノスケールリソグラフィの研究を行ってきたが、本手法は大電流印加による探針状態変化や熱ドリフトの影響を受けやすく、実験者の熟練度に強く依存するという課題がある。本研究では、AIを用いた既存の原子操作・分光自動化技術を基盤として、熱ドリフト補正、探針修復、リソグラフィ実行および成否判定を含むSTMリソグラフィの自動化システムを開発し、室温環境での安定した原子レベルパターン形成を可能にした。