講演情報
[17a-WL2_301-11]ナノ形態制御薄膜内の水分布の可視化
〇時政 紗衣1、Sowmondal Hemanta2、藁科 岳人1、大西 力気1、名村 今日子1、鈴木 基史1 (1.京大院・工、2.IIT Kharagpur)
キーワード:
ナノ構造薄膜、可視化、保水特性
デバイスの発熱密度対策として,毛管力を利用した蒸発・凝縮による冷却技術が注目されている.その性能向上には,ナノ構造内部での液体の輸送や相変化の時空間的理解が不可欠である.本研究では,動的斜め蒸着法によるナノコラム薄膜を対象とし,光学的手法により薄膜内の水分量分布を可視化した.その結果,本手法は薄膜内の水分量の空間分布と時間変化を連続的に捉えられ,薄膜の保水特性の差異を識別できることが示された.
