講演情報
[17p-PA3-1]深層学習による散乱光解析を用いたナノ周期構造（LIPSS）の形成状態推定
〇伊賀 駿耶1、早崎 芳夫1、長谷川 智士1 (1.宇都宮大)
キーワード：
レーザー加工、ナノ周期構造、深層学習
フェムト秒レーザー照射により形成されるLIPSSは有用な表面機能を有する一方，形成挙動が多くの条件に依存し，安定形成が困難である。本研究では，加工中に取得可能な散乱光に着目し，深層学習を用いて散乱光画像からLIPSSの有無，周期性，配向を予測する手法を提案する。散乱光画像とSEM観察結果を対応付けて学習を行い，提案手法の有効性を検証した。