講演情報
[17p-PB4-1]無垢絶縁体上プラズマCVDに伴う1Dから2Dナノカーボンへの成長遷移
〇畠山 力三1、上野 裕1,2、權 垠相1、美齊津 文典1 (1.東北大理、2.東北大学際科学)
キーワード：
1D-2Dナノカーボン成長遷移、無垢絶縁体上プラズマCVD、カーボンナノチューブ / グラフェン
ナノカーボン応用の未踏領域開拓の観点で重要である、触媒及びシーズを用いずに絶縁体上にそれを直接に成長させる新規手法の開発が目的である。そこで、従来1100—1600 ℃成長の熱CVDに比べて低温化とパラメータ制御の多様性を期待できるプラズマCVD法を駆使した結果、臨界温度700 ℃の存在を発見し、その低温下で1D形態の単層カーボンナノチューブ主体の成長を経て、2D形態の単層グラフェンのみの成長へと遷移する現象を初めて見出した。