2026年第73回応用物理学会春季学術講演会
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9:30 〜 9:45
[18a-M_107-3]
イオンビームアシスト成膜法による(Li, Fe)O
2
の作製とLiイオン電池正極への応用
東郷 裕大
1
、〇(M1)増井 莞大
1
、花崎 介利
1
、堀 隼吾
1
、片岡 理樹
2
、前田 泰
2
、稲田 康宏
3
、池之上 卓己
1
、土井 俊哉
1
、川山 巌
1
(1.京大、2.産総研電池技術、3.立命館大)
キーワード：
イオンビームアシスト成膜法
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