講演情報
[18a-PA1-17]シリカのエッチング過程のニューラルネットワーク分子動力学シミュレーション
〇吉本 勇太1、山崎 周1、松村 直樹1、岩崎 有登1、西口 和孝1、坂井 靖文1、實宝 秀幸1 (1.富士通)
キーワード：
分子動力学、ニューラルネットワークポテンシャル、エッチング
シリカのドライ・ウェットエッチング過程における反応機構を原子レベルで解析するため，Si-O-H-F系の高精度ニューラルネットワークポテンシャル（NNP）を開発した。大規模事前学習済みモデルからの知識蒸留を実行し，NNP作成に必要な第一原理データ量を削減しつつ，軽量・高精度なNNPを効率的に構築した。本NNPを用いた分子動力学シミュレーションを実行し，フッ化水素によるドライエッチングと，フッ酸によるウェットエッチングを解析した。