[18a-W9_323-1~10] CS.7 6.5 表面物理・真空、7.5 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

11:15 〜 11:30

[18a-W9_323-9] 表面水素分析のための低速ERDA法におけるTOF・エネルギー複合計測

〇鈴木 拓¹、坂口 勲¹、飯村 壮史¹、西村 智朗²、土屋 文³ (1.物材機構、2.法政大、3.名城大)

キーワード：

水素、イオンビーム分析

表面水素は触媒やセンサ等の特性に影響するため、その分析は重要である。とりわけ占有サイトの解明は、表面水素が特性に関与するメカニズムを理解する上で必須である。表面水素の分析には低速ERDA法が有用である。しかし軽水素、重水素、及び散乱のピーク重なりの問題があり、これまでは適用範囲に限界があった。本研究ではTOF・エネルギー分析の複合計測がこのピーク重なりの解決に有効であることが見いだされた。