[18a-WL2_101-1~11] 13.8 光物性・発光デバイス

11:15 〜 11:30

[18a-WL2_101-9] 新しいCVD法によるケイ酸塩蛍光体の合成

〇戸田 健司¹、疋田 渉¹ (1.新潟大院)

キーワード：

蛍光体、一酸化ケイ素、気相成長法

本発表では、SiO をシリコン源として用いた、ケイ酸塩蛍光体のための新規なCVDによる合成手法について報告する。シリカ原料を Ar/H₂雰囲気下で 1673 K 以上に加熱することにより、SiO 蒸気を発生させた。気相 SiO は反応領域へ供給され、下流側に配置した前駆体粉末と反応する。本プロセスでは主としてミクロンサイズまで成長した単結晶蛍光体粒子が得られた。