[18a-WL2_401-1~11] 3.13 シリコンフォトニクス・光電融合集積・光制御

9:30 〜 9:45

[18a-WL2_401-3] SiフォトニクスSLG FMCW LiDARを用いた振動振幅測定

〇黒田 礼翔¹、鎌田 幹也¹、玉貫 岳正¹、馬場 俊彦¹ (1.横国大院工)

キーワード：

LiDAR、スローライト回折格子、FMCW振動測定

SiフォトニクスFMCW LiDARが注目されている．FMCW方式を用いると，ドップラーシフト検出によって距離・速度・振動を同時に計測できる．我々はスローライト回折格子を光走査器として使用したオンチップLiDARを開発し，距離・速度・振動のリアルタイム動作を実証してきた．今回，このLiDARを用いて振動振幅を測定し，その妥当性を評価した．