講演情報
[18p-S2_202-9]超伝導量子回路集積化に向けた基板間ワイヤレス信号伝送技術
小沢 みゆき1、川上 茂1、〇田渕 豊1 (1.理研RQC)
キーワード：
超伝導量子ビット、3次元集積化
超伝導量子コンピュータの大規模化に向けて3次元集積化技術が重要となっている。本研究では、従来の基板貫通電極が抱える製造難度や損失の課題を解決するため、電磁結合を用いた基板間信号伝送技術を提案する。貼り合わせ基板の両面にスパイラル共振器を形成し、非接触で信号を伝達する帯域通過フィルタを構成した。評価の結果、共振周波数近傍で良好な伝搬特性と量子ビット読み出し回路の結合動作を確認した。